סרטים, שכבה אחר שכבה כפי שאתם צריכים.
מערכות ספטרינג, אידוי, ומערכות עם סיוע יונים למתכות, דיאלקטריקים וחומרים אורגניים. מתא יחיד ועד כלי קלאסטר רב-תאי עם תאי טעינה ושילוב תא כפפות אינרטי.
- ספטרינג מגנטרון RF / DC
- אידוי תרמי וקרן אלקטרונים
- כלי קלאסטר עם תאי טעינה
- עיבוד משולב עם תא כפפות